日本理音RION KS-93粒子傳感器 Now capable of measuring 0.1 µm particles in semiconductor special material gases Simultaneous 5-channels particle measurement Rated flow rate:100mL/min, max.300 mL/min.
日本理音RION XP-L7W純水粒子計數器 ●Z小可預測粒徑0.1μm,超純水粒子污染實時監控 ●超純水直接安裝,監視程序 ●應對高壓500kpa(量規壓) ●D/A轉換器(4-20mA),配備警報輸出
日本理音RION KS-28/KS-28B液體粒子計數器 ●雙通道測量:≥0.2µm,≥0.5µmKL-28B,KL-28BF ●可連接多種接口:RS-232C,RS-485,4-20mA,1-5V ●選軟件可多點監控
日本理音RION KS-71液體粒子傳感器 ●不需要稀釋 ●直列式傳感器 ●2通道3µm,5µm ●低成本 ●全電腦集成
日本理音RION KA-82空氣微粒子計數器 0.1μmリアルタイムモニタリング用センサ モニタリングポイントの設置??変更、レイアウト変更に柔軟に対応 ポンプ內蔵型。各測定點に直接設置が可能 多點モニタリングシステムに対応